半导体行业术语缩写词典总结,解锁行业专业术语

这是一份半导体行业常见术语缩写的总结,涵盖了从制造、设计、封装到设备、材料等各个环节。请注意,部分缩写可能有多个含义,具体需根据上下文判断。
"一、 设计与验证 (Design & Verification)"
1. "ASIC": Application-Specific Integrated Circuit (专用集成电路) - 为特定应用设计的复杂集成电路。 2. "ASSP": Application-Specific Standard Product (专用标准产品) - 功能相对固定、面向特定应用的集成电路,介于通用逻辑和ASIC之间。 3. "LSI": Large-Scale Integration (大规模集成) - 集成数十到数千个晶体管的集成电路。 4. "VLSI": Very Large-Scale Integration (超大规模集成) - 集成数千到数百万个晶体管的集成电路,现代芯片通常属于此类。 5. "ULSI": Ultra Large-Scale Integration (超超大规模集成) - 集成数百万个以上晶体管的集成电路。 6. "ASIC Design": ASIC设计 - 设计专用集成电路的过程。 7. "FPGA": Field-Programmable Gate Array (现场可编程门阵列) - 可以在出厂后由用户自行编程的集成电路,用于原型验证、快速定制等。 8. "ASIC Fabrication": ASIC制造 - 指将设计好的ASIC芯片通过半导体工艺制造出来的过程(通常外包给Foundry)。 9.

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作为半导体行业新人来说,最痛苦的莫过于各种缩写词术语了,有的缩写词一样但是会有不同的解释。


这里作者给大家整理了部分术语词典,后面会按照更新顺序一一分享出来。


废话不多说,直接开始,如有遗漏,欢迎大家在评论区或者私信补充,作者会在后面单开一篇来补充:





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M-开头缩写



缩写

英文全称

中文解释

技术说明/原文出处

M0

Metal 0

第零层金属

最底层钨互连(晶体管接触层)

M1

Metal 1

第一层金属

互连基础布线层

MAGLEV TMP

Magnetic Levitation Turbo Molecular Pump

磁悬浮涡轮分子泵

无接触轴承,真空度5×10⁻⁸ Torr(设备子系统)

MBE

Molecular Beam Epitaxy

分子束外延

量子点原子层生长(-269°C)

MCM

Multi-Chip Module

多芯片模组

GPU/HBM并排封装(先进封装章)

MES

Manufacturing Execution System

制造执行系统

晶圆厂生产调度核心(Fab管理章)

MFC

Mass Flow Controller

质量流量控制器

工艺气体流量控制±0.5%(设备章)

MGD

Metal Gate Dummy

金属栅虚设层

消除CMP不均匀性(文档第8节)

MGG

Metal Gate Granularity

金属栅晶粒控制

阈值电压波动源(3nm节点)

MG

Metal Gate

金属栅

替代多晶硅栅(TiN/TaN材料)

MGC

Metal Gate Cut

金属栅切割

EUV多重曝光实现栅极隔离(光刻章)

MGI

Metal Gate Induced

金属栅感应效应

影响载流子迁移率(器件物理章)

MIS

Metal-Insulator-Semiconductor

金属-绝缘体-半导体

MOSFET栅结构基础

MISFET

Metal-Insulator-Semiconductor FET

金属-绝缘体-半导体场效应管

高压器件应用

MEMS

Micro-Electro-Mechanical System

微机电系统

加速度计/陀螺仪(特色工艺章)

METROX

Metal-Oxide EUV Resist

金属氧化物EUV胶

HfO₂/SnO₂纳米簇(光刻胶章)

MOCVD

Metal-Organic CVD

金属有机源化学气相沉积

GaN外延(TMGa+NH₃)

MOL

Middle-of-Line

中线工艺

晶体管与互连过渡层(接触孔/通孔)

MONO 3D

Monolithic 3D Integration

单片三维集成

纳米线键合(<10nm间距)

MOS

Metal-Oxide-Semiconductor

金属氧化物半导体

晶体管基础结构

MOSFET

Metal-Oxide-Semiconductor FET

金属氧化物半导体场效应管

核心开关器件

MO

Mistake Operation

误操作

设备人为操作错误(Fab管理章)

MPC

Model Predictive Control

模型预测控制

优化CMP参数(控制章)

MPM

Multi-Patterning Module

多重图形化模块

SADP/SAQP技术

MPW

Multi-Project Wafer

多项目晶圆

共享掩模成本

MPSP

Multi-Patterning Splitting Process

多重图形拆分工艺

<3nm节点图形化

MRAM

Magnetoresistive RAM

磁阻随机存储器

自旋电子存储

MTJ

Magnetic Tunnel Junction

磁性隧道结

STT-MRAM核心(TMR>200%)

MTTF

Mean Time To Failure

平均失效时间

可靠性核心指标

MUR

Metal Underlayer Resist

金属底层光刻胶

提升EUV吸收率

MVM

Matrix-Vector Multiplication

矩阵向量乘法

AI加速器核心

MYLAR

Polyester Film Substrate

聚酯薄膜基板

柔性电子封装

μ-TSV

Micro Through-Silicon Via

微硅通孔

直径<5μm(3D集成章)

μc-Si

Microcrystalline Silicon

微晶硅

薄膜晶体管沟道材料







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N-开头缩写

缩写

英文全称

中文解释

技术说明/应用领域

NA

Numerical Aperture

数值孔径

光刻机光学系统关键指标,High-NA EUV(NA=0.55)可实现更高分辨率

NAND

Not AND

与非门(闪存)

闪存存储器架构,如3D NAND,通过高深宽比刻蚀(HAR Etch)堆叠层数

NBTI

Negative Bias Temperature Instability

负偏压温度不稳定性

PMOS器件可靠性问题,栅极负偏压和高温下导致阈值电压漂移

NCL

No Clean Flux

免清洗助焊剂

先进封装工艺中使用,减少后续清洗步骤,提高良率

NDD

Non-Destructive Detection

无损检测

用于晶圆缺陷检查,避免损伤样品,如X射线衍射(XRD)

NEP

Noise Equivalent Power

噪声等效功率

光学或电子检测器的灵敏度指标,值越低灵敏度越高

NF₃

Nitrogen Trifluoride

三氟化氮

腔室清洗气体,在等离子体环境中分解产生氟自由基以清洁沉积物

NGL

Next-Generation Lithography

下一代光刻技术

泛指EUV之后的光刻技术,如纳米压印(NIL)、电子束光刻等

NIL

Nanoimprint Lithography

纳米压印光刻

通过物理压印转移图形,分辨率高(可达5nm),成本相对EUV较低

NMP

N-Methyl-2-Pyrrolidone

N-甲基-2-吡咯烷酮

一种光刻胶剥离剂和清洗溶剂,也可用于剥离临时键合胶

NMOS

N-channel MOSFET

N沟道MOSFET

由电子作为载流子的MOSFET,源漏通常注入As(砷)或P(磷)

NVM

Non-Volatile Memory

非易失性存储器

断电后数据不丢失的存储器,如Flash(闪存)、RRAM、MRAM等

NW

Nanowire

纳米线

GAA(全环绕栅极)晶体管中的沟道结构,用于3nm及以下技术节点

N₂

Nitrogen

氮气

晶圆厂广泛使用的惰性保护气体,用于 purge(吹扫)和创造无氧环境

N₂O

Nitrous Oxide

氧化亚氮

一种氧化性工艺气体,可用于热氧化或CVD沉积过程

N₂/H₂

Forming Gas

合成气(氮氢混合气)

通常为97% N₂ + 3% H₂,用于退火工艺中的还原性氛围,防止氧化

N+

N-type Heavy Doping

N型重掺杂

指高浓度的N型掺杂区域,如NMOS的源漏(Source/Drain)区

N-Well

N-Type Well

N型阱

在P型衬底上形成的N型掺杂区域,用于容纳PMOS晶体管

N-P Junction

N-P Junction

N-P结

半导体器件的基本结构,是二极管、晶体管工作的基础

N-Type Si

N-Type Silicon

N型硅

掺入V族元素(如P、As)的硅,多数载流子为电子



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